光刻網格校正版

技術參數：1.光刻版尺寸：550x450mm,540x420mm,2.厚度：4.8mm,3.0mm.3.光刻版基材:Quartz;SodaLime4.最小線寬:1.0um.5.接觸孔:1.5x1.5um6.CD公差:+/-0.1um7.均一性(范圍):0.12um8.套刻精度:0.12um9.缺陷大小:0.8um缺陷密度:0.6DPSI光刻網格校正玻璃版是一種圖形轉移技術，將光刻版上的網格圖形轉移到涂有光敏材料，即光刻膠的硅片上，符合工業標準的光刻和檢測系統的光刻版。將光首先通過光刻版，將硅片上的光刻膠曝光，從而產生可。 詳細介紹>>