型號

QV Apex202/pro

QV Apex302/pro

QV Apex404/pro

QV Apex606/pro

測量范圍

X

200mm

300mm

400mm

600m

Y

200mm

200m

400mm

650mm

Z

200mm

200m

250mm

250mm

分辨率

0.1μm (0.02μm)

CCD照相

黑白

精度(20°C+/-0.2°

E1xy

(1.5+3L/1000μm)/(0.8+2L/1000μm)

E1z

(3.0+4L/1000μm)/(3.0+2/L1000μm)

E2xy

(2.5+4/L1000μm)/(1.4+3/L1000μm)

最大驅動速度

x/y

300mm/s或200mm/s

z

300mm/s或200mm/s

150mm/s或100mm/s

150mm/s或100mm/s

300mm/s或200mm/s

工作臺玻璃尺寸

327*271mm

399*271mm

493*551mm

697*758mm

最大工作高度

200mm

200mm

250mm

250mm

最大工作負載

15kg/10kg

20kg/15kg

40kg/30kg

50kg/40kg

尺寸(W*D*H)

714*860*1535mm

784*860*1535mm

1040*1220*1765mm

1310*1861*1821mm

重量

353kg

383kg

662kg

1848kg