型號

M443

M544          M574         M776          M7106

測量范圍

X軸

400mm

500mm         500mm        700mm         700mm

Y軸

400mm

400mm       700mm          700mm            1000mm

Z軸

300mm

400mm       400mm          600mm            600mm

測量精度*

E=(1.9+3L/1000)μm (當(dāng)使用TP200時) E=(1.7+3L/1000)μm (當(dāng)使用SP600/MPP-100時) R=1.9 μm (當(dāng)使用TP200時) R=1.7 μm (當(dāng)使用SP600/MPP-100時)

分辨率

0.0001mm(0.1μm)

導(dǎo)向方式

各坐標(biāo)軸上的空氣軸承

驅(qū)動速度

CNC模式

8-300mm,最大合成速度520mm/s

操縱桿模式

0-80mm/s(高速模式) 0-3mm/s(低速模式) 0.05mm/s(微進給模式)

最大測量速度

8mm/s

最大測量加速度

各軸加速度0.13G, 最大合成加速度0.23G

工件

最大高度

480mm/510mm/510mm/800mm/800mm

最大重量

180kg/180kg/180kg/500kg

1000kg

重量

360kg/495kg/615kg/1390kg

1630kg

氣壓

0.4Mpa

空氣消耗量

60升/分(在正常條件下),氣源:120升/分