產品特點：
1 、非接觸式測量：避免物件受損。
2 、三維表面測量：表面高度測量范圍為 1nm ---200μm。
3 、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。
4 、納米級分辨率：垂直分辨率可以達到0.1nm。
5、高速數字信號處理器：實現測量僅需要幾秒鐘。
6 、掃描儀：采用閉環控制系統。
7、工作臺：氣動裝置、抗震、抗壓。
8 、測量軟件：基于windows 操作系統的用戶界面，強大而快速的運算。
應用領域：
1、TFT產業
2、半導體
3、MEMS
4、高校科研
5、精密加工
.jpg)
|
機型
|
SIS 1200
|
SIS 2000
|
|
|
工作臺
|
尺寸
|
|
|
|
傾斜度
|
±3 °
|
||
|
測量行程
|
X:
|
X:
|
|
|
Z軸行程
|
|
|
|
|
運動方式
|
手動
|
自動，馬達驅動
|
|
|
掃描速度
|
30μm/sec
|
||
|
垂直分辨率
|
0.1 nm
|
||
|
CCD
|
黑白CCD， 640×480 像素
|
||
|
物鏡安裝架
|
手動導引五孔式
|
手動 5個位移的可定位夾具
|
|
|
鏡頭選配
|
鏡頭：5×、10×、20×、50×
|
||
系統參數：
|
測量技術
|
增強相位掃描干涉 相位移動干涉
|
||||
|
放大率
|
2.5X
|
5X
|
10X
|
20X
|
50X
|
|
視場 (mm)
|
3.62×2.72
|
1.81×1.36
|
0.90×0.68
|
0.45×0.34
|
0.18×0.13
|
|
橫向分辨率
|
4.72μm
|
2.72μm
|
1.18μm
|
0.88μm
|
0.64μm
|
|
控制器
|
電腦
|
||||
|
軟件
|
i2000 and SNU Map
Windows 2000環境下運行
|
||||
|
掃描儀
|
閉環控制
|
||||
|
抗震工作臺
|
氣動裝置
|
||||
注：聯系我時，請說是在“傲立機床網”上看到的，謝謝！
