CAX系列X-Y精密平臺選用高強度鋁合金，經應力消除處理后再經攝氏196度之超深冷處理，可保證長期使用仍保有良好之精密度。工作臺內部和進給機構裝有5年或20000公里免維護的精密級直線導軌和C3級滾珠絲杠，既保持了原來的性能又實現了長期免維護。實現了穩定的高行走精度、定位精度和大搭載質量，該結構承受力矩及復合負荷較強。采用AC400W伺服馬達，全閉環控制實現了極高精度的定位工作臺。X-Y軸的平臺220mm有效行程專業為8吋晶元設計。

 

型號表示：

CAX15R220-Y220P10-S1-M

（1）CAX15：CAX平臺底座寬度150mm；

（2）R220：X軸有效行程220mm；

（3）Y220：Y軸有效行程220mm；

（4）10：滾珠絲桿的導程分為5mm和10mm；

（5）S1：SX671型極限開關，S2：SX674型極限開關；

（6）M：AC400W伺服馬達；可客制化。

 

 

用戶可根據不同的工作環境選擇產品氧化后染黑處理、本色陽極氧化、硬質氧化、彩色氧化、噴砂氧化、鈍化、化學鍍鎳等表面處理方式。特殊要求可達到B.S.5599(1978)英國國家標準、AMS2469C 太空材料規格及MIL-A-8625E TYPE Ⅲ軍事規格等材質。