瑞士TRIMOS公司生產的TR-Scan-P系列精密型非接觸表面微觀形貌(粗糙度)測量儀，系統采用TRIMOS專利技術數字全息三維顯微測量技術(DHM)，廣泛應用于高精密微觀表面檢查。與傳統非接觸測量技術相比，測量速度快，對震動不敏感，真正的實現三維形貌納米級測量。模塊化的設計理念，可配置共焦顯微系統, 探針測量系統，傳感器直接更換，方便快捷，極大的滿足了不同的應用范圍。即可用于計量單位和材料科學研發實驗室，也廣泛應用在工業制造領域：汽車、航天、航空、表面涂層、醫療產品、微型電機系統、半導體等行業。

主要特點：
◆ 非接觸式測量原理，無損化檢測粗糙度，微觀形貌
◆ 獨有的數字全息三維顯微技術，真正實現3D微觀形貌測量
◆ 創新的成像原理，從原理上保證了對外界振動不敏感，Z軸分辨率高
◆ 激光找正工件并自動定位，測量速度快 
◆ 模塊化的設計概念，多種光學光路原理，直接更換傳感器，不需要調整，方便快捷
◆ 可非標定制相應的測量頭，滿足不同客戶的特殊工件測量要求
◆ 即可選用數字全息技術實現高精密表面測量，也可選用色譜共焦技術實現微觀輪廓測量或選用接觸式探針實 現內壁粗糙度測量
◆ 慣用了Trimos“智能用戶界面”的理念，測量過程全 自動，操作簡單
◆ 采用專業的3D形貌分析軟件，功能強大，即可實現2D輪廓測量，也可進行3D形貌分析
◆ 可進行編程批量檢測并自動生成分析報告
◆ 完全兼容2D標準，并已內置即將制定的3D標準

軟件特點：
TRIMOS NanoWare軟件，擁有國際權威的評價標準程序來實時更新國際標準測量符合以下標準：ISO (4287、4288、11562、1101、12085、13563等)，法國標準NF，制造標準CNOMO，ASME (B46.1) 和DIN標準；三維表面特征數據標準ISO 25178系列同樣有效。

TRIMOS® NanoWare LT特點：
用于二維輪廓粗糙度測量分析的基本模塊。操作簡便，包含用于表面檢查，分析形貌，粗糙度和波紋度測量的重要功能。
◆ 常用參數要求數據Ra、Rq、Rt、線性材料曲率
◆ 過濾方式、水平、放大
◆ 所有測量可復現三維形貌
TRIMOS® NanoWare STT：  
◆ 3軸測量基本模塊. 包含分析輪廓的所有功能及       符合ISO 25178表面分析   
◆ 3D基本參數(Sa, Sq, St, Smr, ...)   
◆ 表面圖形仿真   
◆ 距離, 高度及角度測量   
◆ 成型, 拉平, 視圖等濾波器   
◆ 最終結果管理   
◆ 測量點管理/再采集   
◆ 輪廓提取, 體積測量 
TRIMOS® NanoWare PRO：  
2D及3D表面特征評估最完整版本。此模塊綜合了表面測量領域15年以來的經驗。
◆ 市場上最高性能的軟件   
◆ 表面圖層研究   
◆ 3D形貌鑒定   
◆ 表面及輪廓統計分析及研究 

應用實例：