Dektak 150 臺階儀 光學輪廓儀 價格 用途 技術參數(shù) 總代理 詳細說明：
Dektak 150 臺階儀
集40多年的探針輪廓技術創(chuàng)新于一身，該系統(tǒng)在行業(yè)內的表現(xiàn)遙遙領先，以重現(xiàn)性最佳和標準掃描范圍最大而著稱。它提供各種各樣的配置和附加選項，用于程序化測量、低探針力表征和細節(jié)分析
臺階儀Dektak 150 表面輪廓儀（探針式）
規(guī)格：
測試技術：探針輪廓技術
測試功能：二維表面輪廓測試
樣品視場：640*480像素，USB；17 inc 平板顯示器
探針傳感器：低慣量傳感器（LIS 3）
探針壓力：使用LIS 3傳感器：1至15 mg
使用N-lite傳感器：0.03至15 mg
探針選項：探針曲率半徑可選范圍：50 nm至25 um;
高徑比針尖：10 um * 2 um 和200 um*20 um
樣品載物臺：手動X/Y/@：100*100 mm, 360度旋轉，可手動校平；
可選Y自動移動載物臺，100 mm行程，1um重現(xiàn)性，0.5 um分辨率；
可選X-Y自動移動載物臺，150 mm行程；
1um重現(xiàn)率，0.5 um 分辨率
計算機系統(tǒng)：主機使用celeron或者semprom處理器
軟件：Dektak軟件
臺階檢測軟件
可選應力測量軟件
可選三維Vision分析軟件
可選縫合軟件
減震裝置：可選桌式震動隔離裝置
可選臺式震動隔離裝置
性能
掃描長度范圍 55mm(2.1英寸)
每次掃描數(shù)據點最多12萬數(shù)據點
最大樣品厚度高達90 mm (4英寸)，取決于配置
最大晶圓尺寸 150 mm(6英寸)
臺階高度重現(xiàn)性 6埃
垂直范圍：標準524um(0.02英寸)；可選1mm
垂直分辨率：最大1A（6.55um垂直范圍下）
尺寸：292 mm *508 mm*527 mm
重量：34 kg
電源要求：
輸入電壓： 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ
無論是用于科學研究還是工業(yè)生產，Dektak 150探針式表面輪廓儀都具有業(yè)內最好的表現(xiàn)性能，最高的測量重復性以及最大的掃描范圍。Dektak 150集四十多年的技術積累和創(chuàng)新于一身，為滿足用戶不同應用方向的需要提供了多種可選配置。堅固的鋁質材料鑄成的機身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復精度，并降低了地板噪音對測量的干擾�；赪indows®XP的軟件用戶界面，使用戶迅速掌握Dektak 150。分析功能齊全，界面直觀，包括從簡便的一鍵"進針即測量"，到多次掃描結果的自動分析。通過選配三維成像附件套裝還可以極大地擴充儀器的功能。
詳細技術要求及參數(shù)：
• 測量重復性 6Å，1δ (10000 Å 標準臺階)。
Step height repeatability6 Angstroms, 1 sigma (1,0000 angstrom step).
• 最大掃描長度 55mm，用于測量彎曲度和波度。
Maximum scan length = 55mm, for measuring curvature and waviness.
• 配有快速更換探針附件。
Quick-change stylus removal with stylus coupled to the sensor head magnetically using
kinematic mounts and special stylus removal fixture.
• 低噪音線性 LVDT 傳感器，保證 Z 軸方向高分辨率測量。
Linear LVDT sensor for low noise, high resolution Z-axis measurements
• 電磁探針壓力調整系統(tǒng)，不管探針在何垂直位置都可保證探針壓力不變。
Electromagnetic stylus force adjustment mechanism to ensure stylus force is constant
irrespective of the vertical position of the stylus.
線性掃描——基于精確光學平面的樣品臺——提供了優(yōu)越的基線穩(wěn)定性，消除了幾何測量誤差。
Linear scan method – precision scan stage with optically flat reference – provides
excellent baseline stability, free of geometric measurement errors.
& 精確 6 英寸樣品臺（X-Y-Theta 手動定位）
Precision 6” sample stage with manual X-Y-Theta position adjustment
& 臺階檢測功能，可自動測試多重臺階。
Step Detection feature for automatically measuring multiple steps
&彩色攝影鏡頭（放大倍數(shù) 166x 并配有視頻圖象自動捕捉功能），為報告和演講提供豐富的圖形數(shù)據。
Color video camera standard with 166x zoom magnification with video image capture
feature for use in reports and presentations.
&視頻觀測功能使探針在整個掃描過程中均處在觀察中，保證了掃描數(shù)據和視頻圖象的相互關聯(lián)。
Video overlay feature where stylus stays in view throughout entire scan. Ensures direct
correlation between scan data and video of sample
&大于 4 英寸的樣品空間可確保大樣品的測量。
Up to 4” sample clearance for larger samples
& 多掃描程序具有生成標準統(tǒng)計報告，用以計算標準偏差和平均值等結果。
Multi-scan program recipe capability standard with statistical report generating software
to calculate standard deviation and mean.
&軟件有 30 種分析功能,包括程控數(shù)據過濾等，從而得到精確的粗糙度和波度結果。
30 Analytical functions built-in, including programmable cut-off filters for accurate
roughness and waviness calculations
& 低慣性感應器技術的應用可以把探針壓力調整到 1mg，從而使出眾的表面表征能力
得以實現(xiàn)。
Low inertia sensor technology to allow superior surface tracking with low stylus forces
down to 1 mg.
& 標準垂直測量范圍 524um(1 mm可選擇)
Standard 524 μm maximum vertical range (1mm optional)
• 數(shù)據采樣點可達 120,000/掃描
Acquire up to 120,000 data points per scan
& 3/8”厚的環(huán)境環(huán)境罩, 可消除靜電和電磁干擾。
Environmental shield 3/8” thick acrylic cover, ESD resistant
&操作手冊 ( 1本說明書和 1 張光盤) ，可以接受在線幫助
Operation manual (1 printed hard copy and 1 electronic copy on CD) with manual also
available as on-line help
&符合 CE 標準
CE compliant
注：聯(lián)系我時，請說是在“傲立機床網”上看到的，謝謝！
