THK高端直線軸承HIR超級軸承LMF10UU LMK13LUU
日本進(jìn)口HIR海瑞代替THK交叉滾子軸承
日本進(jìn)口HIR海瑞代替THK交叉滾子導(dǎo)軌
日本進(jìn)口HIR海瑞代替THK直線軸承
日本HIR（海瑞）株式會社
日本HIR（海瑞）中國代表處
日本HIR（海瑞）高端直線軸承
LMF/LMK型
LMF6UU/LMK6UU  LMF8SUU/LMK8SUU LMF8UU/LMK8UU LMF10UU+LMK10UU
LMF12UU/LMK12UU LMF13UU/LMK13UU LMF16UU/LMF16UU 
LMF20UU/LMK20UU LMF25UU/LMK25UU LMF30UU/LMK30UU LMF35UU/LMK35UU
LMF40UU/LMK40UU LMF50UU/LMK50UU LMF60UU/LMK60UU 
LMH型（亞洲系列）  
LMH6UU  LMH8UU LMH10UU LMH12UU LMH13UU LMH16UU LMH20UU
LMH25UU LMH30UU LMH35UU LMH40UU 
LMF-L/LMK-L型（亞洲系列）  
LMF6LUU/LMK6LUU LMF8LUU/LMK8LUU LMF10LUU/LMK10LUU 
LMF12LUU/LMK12LUU  LMF13LUU/LMK13LUU  LMF16LUU/LMK16LUU 
LMF20LUU/LMK20LUU  LMF25LUU/LMK25LUU    LMF30LUU/LMK30LUU 
LMF35LUU/LMK35LUU   LMF40LUU/LMK40LUU  LMF50LUU/LMK50LUU 

LMF60LUU/LMK60LUU 

THK高端直線軸承HIR超級軸承LMF10UU LMK13LUU傳統(tǒng)的模壓切割機選用齒輪傳動的辦法，不但結(jié)構(gòu)雜亂，本錢較高，並且平穩(wěn)性和精度都難以滿意客

戶的需求。越來越多的印後加工企業(yè)現(xiàn)已認(rèn)識到了這一點，並逐步使用直接驅(qū)動技能對其模壓切割機

進(jìn)行了從頭規(guī)劃，不但減少了機器部件，下降了噪聲，並且大幅提升了機器的精度，然後進(jìn)步了模壓

切割機的整體生産能力。

THK高端直線軸承HIR超級軸承LMF10UU LMK13LUU所謂直接驅(qū)動便是將直接驅(qū)動旋轉(zhuǎn)電機（DDR）或直接驅(qū)動直線電機（DDL）直接耦合或連接到從動負(fù)

載上，然後完結(jié)與負(fù)載的剛性耦合。因爲(wèi)取消了傳動皮帶和齒輪箱等部件，直接驅(qū)動解決計劃簡化了

機器規(guī)劃，消除了噪聲較大的機械傳動以及這種傳動所隨同的功用束縛，具有免保護(hù)、高剛度、無需

光滑、定位精度高、速度平穩(wěn)、作業(yè)安靜等長處，因而成爲(wèi)印刷、包裝等領(lǐng)域運用的理想挑選，大大

進(jìn)步了設(shè)備的生産率和可靠性。一起，因爲(wèi)設(shè)備緊湊、零部件少、設(shè)備和運用快捷，還可以協(xié)助 OEM 

廠商快速將産品推向市場。

THK高端直線軸承HIR超級軸承LMF10UU LMK13LUU直接驅(qū)動旋轉(zhuǎn)電機，有時也稱作轉(zhuǎn)矩電機，可將負(fù)載直接連接到電機上，能在相對較低的速度時發(fā)生

較高轉(zhuǎn)矩，可運用于高速芯片分選機。DDR可以爲(wèi)客戶帶來的好處有：清潔的機械部件；伺服功用提

高，DDR可將精度進(jìn)步50倍；免保護(hù)，DDR既沒有需求張緊和調(diào)節(jié)的皮帶，也沒有會發(fā)生走漏並需求潤

滑的齒輪；重複性進(jìn)步；縮短機器停機時刻；作業(yè)噪聲低，噪聲可下降高達(dá) 20db。

Cartridge DDR（CDDR）電機是丹納赫傳動的最新專利産品，是業(yè)內(nèi)第一種將無結(jié)構(gòu)電機技能的節(jié)省

空間和功用上的長處與全結(jié)構(gòu)電機的設(shè)備簡便性相結(jié)合的電機。 CDDR 電機由一個轉(zhuǎn)子、定子和作業(yè)

整定型高分辯率反饋設(shè)備組成，本身不含軸承，在設(shè)備到機器上時，電機的轉(zhuǎn)子經(jīng)過機器的現(xiàn)有軸承

來支承。

THK高端直線軸承HIR超級軸承LMF10UU LMK13LUU創(chuàng)新的壓緊聯(lián)軸器將轉(zhuǎn)子齧合到負(fù)載上，使二者融爲(wèi)一體，消除了電機與負(fù)載之間的柔性。CDDR 電

機的結(jié)構(gòu)經(jīng)過與常規(guī)伺服電機相同的螺栓圓周和導(dǎo)孔直徑設(shè)備到機器上，節(jié)省了空間和規(guī)劃時刻，簡

化了整個體系。

THK高端直線軸承HIR超級軸承LMF10UU LMK13LUUCDDR 具有CE 認(rèn)證並滿意UL全球運用標(biāo)準(zhǔn)，可用于230V、400V和480V電壓，以滿意最大的規(guī)劃靈活性

和穩(wěn)健的作業(yè)。CDDR具有五種結(jié)構(gòu)標(biāo)準(zhǔn)，包含4.25、 5.4、7.4、9.8和13.7in2（1 in2=6.45×10-

4m2）。CDDR 選用的是S300和S600 標(biāo)準(zhǔn)驅(qū)動體系，C09 和 C13 有通孔選件。CDDR 接連轉(zhuǎn)矩爲(wèi)

4.6~510 Nm，峰值轉(zhuǎn)矩爲(wèi)11.3~1017Nm，最大轉(zhuǎn)速高達(dá)2500r/min。

與其他直接驅(qū)動電機配置比較，CDDR電機在本錢效益和運用方便性上有了明顯飛躍。有結(jié)構(gòu)電機和反

饋設(shè)備的設(shè)備和調(diào)試需求幾個月時刻，而 CDDR 只需簡便地將軸與導(dǎo)向設(shè)備對準(zhǔn)，從轉(zhuǎn)運箱中取出到

開端作業(yè)的時刻僅需5min。CDDR 電機可在恣意方向上設(shè)備，包含水平軸或垂直軸設(shè)備。

一家全球領(lǐng)先的印後加工企業(yè)開端選用的是齒輪傳動的模壓切割機，然而隨著用戶對機床的精度和效

率的要求的不斷進(jìn)步，原有的傳動辦法遠(yuǎn)遠(yuǎn)達(dá)不到客戶的需求。後來這家企業(yè)了解到了直接驅(qū)動技能

的好處，便以取得了專利技能的CDDR電機爲(wèi)主，對他們的整個模壓切割機進(jìn)行了從頭規(guī)劃。新規(guī)劃的

機器中剔除了齒輪、調(diào)速帶、齒輪箱、軸承座、設(shè)備托架、齒輪注油箱、相位器、氣動離合器、皮帶

輪、方位電機和百余個零件。該規(guī)劃爲(wèi)這家企業(yè)帶來了明顯的效益，不但將噪聲減少了 20+dB，部件

數(shù)量減少了100余件，並且精度增強了10倍以上，機床整體生産能力進(jìn)步了20％。

THK高端直線軸承HIR超級軸承LMF10UU LMK13LUU這家企業(yè)的工程司理表示，選用了直接驅(qū)動技能的模壓切割機是他們現(xiàn)在所見過的最平穩(wěn)的機型。他

們的客戶現(xiàn)已對這一從頭規(guī)劃的機床體現(xiàn)出了十足的興趣，對它的需求現(xiàn)已遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出了他們的想象。

其中的一位德國客戶在看到了這個新機床後，隨即取消了原來的訂單，並且說道，“我要換成這樣的

機床。” 
THK高端直線軸承HIR超級軸承LMF10UU LMK13LUU國際各工業(yè)發(fā)達(dá)國家經(jīng)過發(fā)展數(shù)控技能、建立數(shù)控機床工業(yè)，促進(jìn)制作業(yè)跨入一個新的發(fā)展階段，給

國民經(jīng)濟(jì)的結(jié)構(gòu)帶來了巨大的變化。數(shù)控機床是國際第三次工業(yè)革命的重要內(nèi)容，它不行是機電工業(yè)

的重要根底裝備，還是汽車、石化、電子和現(xiàn)代醫(yī)療裝備等工業(yè)現(xiàn)代化的首要手段。盡管數(shù)控機床産

業(yè)本身的産量遠(yuǎn)不如汽車、化工等工業(yè)，但高效的數(shù)控機床給制作業(yè)帶來了現(xiàn)代化的生産辦法以及高

倍率的效益增加，這是促進(jìn)國民經(jīng)濟(jì)發(fā)展的巨大源動力。特別是數(shù)控技能在制作業(yè)的擴(kuò)展與延伸所産

生的輻射作用和波及作用，足以給機械制作業(yè)的工業(yè)結(jié)構(gòu)、産品結(jié)構(gòu)、制作辦法及管理模式等帶來深

刻的變化。

核算機數(shù)控(CNC)體系首要由圖1所示的虛線框中的幾個部分組成，雙點畫線框中爲(wèi)數(shù)控體系的操控對

象，這兒以數(shù)控機床爲(wèi)例進(jìn)行闡明。



圖1 數(shù)控體系的組成

THK高端直線軸承HIR超級軸承LMF10UU LMK13LUU1．操作面板操作面板是操作人員與數(shù)控機床(體系)進(jìn)行交互的東西。一方面，操作人員可以經(jīng)過操

作面板對數(shù)控機床(體系)進(jìn)行操作、編程、調(diào)試或?qū)�機床參數(shù)進(jìn)行設(shè)定和修改，另一方面，操作人員

也可以經(jīng)過它了解或查詢數(shù)控機床(體系)的作業(yè)狀況。

操作面板首要由按鈕站、狀況燈、按鍵陣列(功用與核算機鍵盤一樣)和顯示器等部分組成，如圖2所

示。


圖2 操作面板

THK高端直線軸承HIR超級軸承LMF10UU LMK13LUU2．輸入輸出設(shè)備輸人輸出設(shè)備是CNC 體系與外部設(shè)備進(jìn)行交互的設(shè)備。交互的信息通常是零件加工

程序。即將記錄在操控介質(zhì)上的零件加工程序輸入CNC 體系或?qū)⒄{(diào)試好了的零件加工程序經(jīng)過輸出設(shè)

備存放或記錄在相應(yīng)的操控介質(zhì)上。數(shù)控機床常用的操控介質(zhì)和輸入輸出設(shè)備見下表。

表 操控介質(zhì)與輸入輸出設(shè)備



THK高端直線軸承HIR超級軸承LMF10UU LMK13LUU此外，現(xiàn)代數(shù)控體系一般都可選用通訊辦法完結(jié)CNC 體系與外部設(shè)備問的信息交流，這種信息交流方

式是完結(jié)DNC、FMS 和CIMS 等的基本技能。現(xiàn)在在數(shù)控機床上常選用的通訊辦法有：

——串行通訊(RS232等串口)。
——主動操控專用接口和標(biāo)準(zhǔn)(DNC 辦法，專用接口卡等)。
——網(wǎng)絡(luò)技能(Internet，LAN等)。

3．核算機數(shù)控(CNC)設(shè)備(或CNC 單元) 核算機數(shù)控(CNC)設(shè)備是核算機數(shù)控體系的核心。其首要作用

是依據(jù)輸入的零件加工程序進(jìn)行相應(yīng)的處理(如運動軌道插補核算、機床輸入輸出處理等)，然後輸出

操控命令到相應(yīng)的履行部件(伺服單元、驅(qū)動設(shè)備和PLC 等)，加工出需求的零件。所有這些作業(yè)由

CNC 設(shè)備內(nèi)硬件和軟件協(xié)調(diào)配合，合理安排，使整個體系有條有理地進(jìn)行作業(yè)。CNC 設(shè)備首要由核算

機體系、方位操控板、PLC 接口板、通訊接口板、擴(kuò)展功用模塊以及相應(yīng)的操控軟件等模塊組成。

4．伺服單元、驅(qū)動設(shè)備和丈量設(shè)備伺服單元和驅(qū)動設(shè)備包含主軸伺服驅(qū)動設(shè)備和主軸電動機、進(jìn)給

伺服驅(qū)動設(shè)備和進(jìn)給電動機。伺服單元把來自CNC 設(shè)備的微弱指令信號擴(kuò)大成操控驅(qū)動設(shè)備的大功率

信號，驅(qū)動設(shè)備把經(jīng)擴(kuò)大的指令信號變爲(wèi)機械運動。

丈量設(shè)備包含方位和速度丈量設(shè)備，它是完結(jié)速度閉環(huán)操控(主軸、進(jìn)給)和方位閉環(huán)操控(進(jìn)給)的必

要設(shè)備。

THK高端直線軸承HIR超級軸承LMF10UU LMK13LUU伺服單元、驅(qū)動設(shè)備和丈量設(shè)備合稱爲(wèi)伺服驅(qū)動體系，它是機床作業(yè)的動力設(shè)備。CNC 設(shè)備的指令要

靠伺服驅(qū)動體系付諸實施，所以，伺服驅(qū)動體系是數(shù)控機床的重要組成部分。

進(jìn)給伺服體系的首要作用是完結(jié)零件加工的成形運動，其操控量爲(wèi)速度和方位。主軸伺服體系的首要

作用是完結(jié)零件加工的切削運動，其操控量爲(wèi)速度。它們一個一起的特色是能活絡(luò)、精確地盯梢CNC

設(shè)備的方位和速度指令。

從某種意義上可以說，數(shù)控機床功用的強弱首要取決于CNC 設(shè)備，而數(shù)控機床功用的好壞則首要取決

于伺服驅(qū)動體系。

5．PLC、機床I／O 電路和設(shè)備PLC(Programmable Logic Controller，可編程操控器)用于完結(jié)與邏

THK高端直線軸承HIR超級軸承LMF10UU LMK13LUU輯運算有關(guān)的次序動作的操控，其由硬件和軟件組成。

機床I／O電路和設(shè)備是數(shù)控機床完結(jié)輸A／輸出操控的履行部件，是由繼電器、電磁閥、行程開關(guān)和

觸摸器等組成的邏輯電路。PLC、機床I／O電路和設(shè)備一起完結(jié)以下任務(wù)。

1)承受CNC 的指令，對其進(jìn)行譯碼並轉(zhuǎn)化成對應(yīng)的操控信號，操控輔助設(shè)備完結(jié)機床相應(yīng)的開關(guān)動作

。
2)承受操作面板和機床側(cè)的I／O 信號，送給CNC設(shè)備，經(jīng)其處理後，輸出指令操控CNC 體系的作業(yè)狀

態(tài)和機床的動作。

THK高端直線軸承HIR超級軸承LMF10UU LMK13LUU6．機床機床是數(shù)控機床的主體，是數(shù)控體系的被控對象，是完結(jié)制作加工的履行部件。它首要由主

運動部件、進(jìn)給運動部件(作業(yè)臺、拖板以及相應(yīng)的傳動組織)、支承件(立柱、床身等)以及特別設(shè)備

(刀具主動交流體系、工件主動交流體系)和輔助設(shè)備(如冷卻、光滑、排屑、轉(zhuǎn)位和夾緊設(shè)備等)組成

。數(shù)控機床機械部件的組成與一般機床類似，但傳動結(jié)構(gòu)較爲(wèi)簡單，在精度、剛度和抗震性等方面要

求高，並且其傳動和變速體系要便于完結(jié)主動化操控。
細(xì)小機械制作中常用的是半導(dǎo)體技能，半導(dǎo)體技能存在著：可制作的零件首要爲(wèi)平面型，難以形成三

維雜亂結(jié)構(gòu)，難以完結(jié)空間組織制作，不能適應(yīng)微機器人等高級微機械的制作要求；設(shè)備出資大；單

件、小批生産本錢高級問題。因而，各國都在探究制作三維雜亂零件的新路子。

   THK高端直線軸承HIR超級軸承LMF10UU LMK13LUU快速成型RPM(rapidPrototyping＆ manufacturing)技能是80年代後期發(fā)展起來的一項快速規(guī)劃及

加工技能[1]。快速成型加工的核心思想是將二維的實體分解成二維，逐層加工、堆積，終究形成原

型。這種制作技能的最大長處是能快速地制作三維雜亂零件，恰恰能補償矽技能的不足。近幾年，日

本等國已開端進(jìn)行將快速成型技能作爲(wèi)細(xì)小機械的微細(xì)加工工藝的討論[4]，而關(guān)于光成型技能在微

小機械加工中的運用研討，國內(nèi)還未見研討報道。
本文報道關(guān)于光成型技能用于加工細(xì)小機械可能性的討論定論，以及對細(xì)小機械光成型體系如下問題

研討的發(fā)展[5]：
(1)光成型辦法、切片辦法及數(shù)據(jù)格式、光束掃描辦法、液面操控辦法等特別工藝問題；
(2)體系構(gòu)成及調(diào)試；(3)光成型工藝試驗。

1 細(xì)小機械光成型加工的可能性及其特別工藝問題

  THK高端直線軸承HIR超級軸承LMF10UU LMK13LUU1.1細(xì)小機械光成型加工的可能性
   本文選用的細(xì)小機械定義爲(wèi)：整體尺度約l立方厘米以下，零件最小長度在10微米左右，結(jié)構(gòu)高度

集成化，由核算機進(jìn)行智能操控的機械。與一般的機械比較，細(xì)小機械在加工方面的特色是：尺度小

，要求高的加工分辯率(可以獨立進(jìn)行加工的兩點間的最小間隔)和大的加工自在度(可加工零件形狀

的雜亂程度)。
下面將常用微細(xì)加工技能的分辯率、可加工形狀及存在的首要問題等概括爲(wèi)表1。



THK高端直線軸承HIR超級軸承LMF10UU LMK13LUU與表1所示的常用微細(xì)加工法比較較，因爲(wèi)光成型的分辯率可達(dá)2μm左右，且具有加工自在度大、零

件可爲(wèi)恣意雜亂形狀等特色，適合于細(xì)小機械的加工。

   1.2細(xì)小機械光成型加工的特別工藝問題

  (1)成型分辯率與固化單元
   微機械加工中的一個重要指標(biāo)是分辯率。在快速成型制作中，咱們把它區(qū)分爲(wèi)掃描分辯率及成型

分辯率。成型分辯率是指成型的最小單位；掃描分辯率則指掃描組織移動的最小間隔。在微機械光成

型體系中引人光固化單元的概念：光固化單元是指一個激光斑點照耀在光敏樹脂上所固化的樹脂體積

，固化單元越小，成型分辯率越高。

   (2)光成型與光束掃描辦法
   THK高端直線軸承HIR超級軸承LMF10UU LMK13LUU光束掃描辦法一般分爲(wèi)光柵掃描和矢量掃描兩種。矢量掃報是線成型，成型分辯率低c光柵掃描是

點成型，使激光束按一組平行光進(jìn)行掃描，光束按開閉辦法操控，以此來得到恣意的三維形狀。光柵

掃描法易于操控及進(jìn)步成型分辯率，但制作大型成型物的時刻將大幅度增加。爲(wèi)進(jìn)步成型分辯率，並

克服掃描時刻長的缺點，本體系選用改進(jìn)的光柵掃描辦法，其特色爲(wèi)：因光柵掃描式的加工時刻與掃

描面積大致成份額，爲(wèi)縮短加工時刻，掃描途徑按僅對加工物內(nèi)部掃描規(guī)劃；爲(wèi)消除掃描器的

SACKRASH。采納如圖l所示的同方向光柵掃描辦法。光成型辦法還有掩膜面固化等。作者將光成型方

式、特色及所用光譜光源等概括如表2所示。



本研討萊用與光固化單元相對應(yīng)的點固化光成型辦法，用紫外激光器爲(wèi)光源。

   (3)切片辦法及數(shù)據(jù)格式
   THK高端直線軸承HIR超級軸承LMF10UU LMK13LUU一般的RPM體系選用STL數(shù)據(jù)格式：先對CAD模型進(jìn)行小二角形面模型的離散網(wǎng)格化逼近，生成與原

三維實體近似的一系列小三角形數(shù)據(jù)信息的STL文件，再對STL文件進(jìn)行切片處理。因爲(wèi)小二角形不行

能完全表達(dá)實際曲面，會發(fā)生無法補償?shù)木�度損失。此外， S丁L格式轉(zhuǎn)化時會呈現(xiàn)局部缺點，有些

缺點較難以修正c本體系直接對CAD模型進(jìn)行切片分層，選用BMP(bitmap：位圖)數(shù)據(jù)格式。因爲(wèi)是直

接切片，可防止類似STL法的逼近差錯和描繪缺點的發(fā)生；而BMP數(shù)據(jù)格式與固化單元和光柵掃描辦法

直接對應(yīng)，有利于進(jìn)步固化單元精度。
   (4)液面操控辦法
   液面操控分自在液面式(一般的RPM體系選用自在液面式)和束縛液面式兩種，如圖2所示。



THK高端直線軸承HIR超級軸承LMF10UU LMK13LUU自在液面式使光從上至下照耀，工件向上生長。因爲(wèi)液面不受束縛，在一層加工完之後需專用的液面

刮平設(shè)備，工件會遭到液面外表張力的影響，使垂直方向的液體厚度不宜操控，然後下降該方向的分

辨率；並且每一層都暴露在大氣中，易進(jìn)入灰塵，也會下降分辯率。束縛液面式將工件束縛在基板與

光窗之間，光束自下而上照耀，工件則向下生長(3因爲(wèi)排除了液面外表張力的影響，有利于垂直分辯

率的進(jìn)步，適合于細(xì)小機械的制作。但這樣也帶來了每層固化後成型件與光窗不易分隔，以及光窗會

吸收一部分光能等問題(這些問題的解決將在2.2試驗體系的構(gòu)成及調(diào)試”中闡明)。

2 細(xì)小機械光成型體系

   2.1光成型工藝體系

   本文在對細(xì)小機械光成型特別工藝問題研討的根底上，提出了適用于細(xì)小機械光成型的工藝體系

，與通用的RPM體系比較，此工藝體系具有如表3所示的特色。



   2.2試驗體系構(gòu)成及調(diào)試

   THK高端直線軸承HIR超級軸承LMF10UU LMK13LUU細(xì)小機械光成型試驗體系的規(guī)劃根據(jù)以下原則：設(shè)備結(jié)構(gòu)力求簡單化；包含激光器在內(nèi)的所有成

型設(shè)備零部件均選用國産品，以利于下降研發(fā)本錢，創(chuàng)始細(xì)小型光成型體系國産化的路子。

細(xì)小機械光成型試驗體系構(gòu)成的框圖如圖3所示，圖4爲(wèi)試驗體系全貌相片，圖5爲(wèi)激光器、作業(yè)臺、

光路體系和樹脂槽等部分。試驗體系各組成部分的構(gòu)成、功用及標(biāo)準(zhǔn)等如表4所示。

   試驗體系調(diào)試首要解決了如下問題：

(1)成型件與光窗的別離
THK高端直線軸承HIR超級軸承LMF10UU LMK13LUU采納在光窗外表塗複樹脂的辦法，並進(jìn)行了光窗外表塗複資料種類及塗複分式的試驗。塗複資料包含

氟化物及矽化物等；塗複辦法有樹脂直接塗複、用樹脂膠帶或薄膜 (統(tǒng)稱爲(wèi)tape)張貼等。塗複資料

應(yīng)具有透明性、別離性、耐熱性等歸納功用指標(biāo)，塗複辦法應(yīng)簡單易行。經(jīng)過比照試驗，承認(rèn)了在光

窗外表張貼 Teflon(聚四氟乙烯)tape的最適合計劃。這種張貼計劃具有歸納功用好、樹脂張貼均勻

、作用好以及運用方便等長處。
(2)光窗張貼資料的比照
對日本産(3MScotckTM)和國産(泰州有機氟資料廠)Teflon薄膜進(jìn)行了比照試驗，得出了國産Tcflon薄

膜亦可作爲(wèi)光窗張貼資料的定論。
(3)光窗資料與透光試驗
光窗資料對光化學(xué)反應(yīng)所需波長的光應(yīng)有高的透射率，經(jīng)過對一般玻璃與石英玻璃的透光比照試驗，

決定選用對紫外光透射性好的石英玻璃作光窗資料。
(4)高頻攪擾分析及抗攪擾辦法
THK高端直線軸承HIR超級軸承LMF10UU LMK13LUU對脈衝式氮分子激光器發(fā)生的高頻攪擾進(jìn)行了分析，診斷出此攪擾源的特征爲(wèi)：攪擾頻率達(dá)近百兆，

瞬間幅值高達(dá)100伏。采納了如下所示的相應(yīng)對策；選用有針對性的屏蔽辦法隔離—消除攪擾源；用

合理的接地辦法來堵截及阻止攪擾的鍋臺通道：設(shè)置濾波器、運用屏蔽線等以減小接納電路對攪擾的

敏感性等，取得了較好的抗攪擾作用。

   2.3光成型工藝試驗研討

   THK高端直線軸承HIR超級軸承LMF10UU LMK13LUU經(jīng)過試驗?zāi)Ｋ鳎�把握了較爲(wèi)合理的細(xì)小機械光成型工藝規(guī)模，將其概括爲(wèi)如下操作步驟：
(1)基準(zhǔn)找正
基板上開有找正用的若幹基準(zhǔn)孔；移動升降臺(Z向作業(yè)臺)使基板略高于光窗，移動曝光頭，使其與

基板上的基準(zhǔn)孔重合。
(2)根底部加工
使升降臺盡可能接近樹脂槽光窗。使基板與光窗縫隙中的悉數(shù)樹脂固化。選用大曝光量，根底部的水

平方向尺度大于加工物水平方向尺度，使根底部與基板問有較大的觸摸面積，確保成型物可牢固地固

定在基板上。
爲(wèi)防止光窗外表處理層及樹脂因爲(wèi)吸收過多熱量而造成燒傷和變質(zhì)等破壞現(xiàn)象，使聚光透鏡酌焦點離

開材脂，改進(jìn)散熱條件然後按捺溫升。
因根底部與光窗觸摸面積大，粘著力也大，二者別離時易引起光窗外表處理層破損。爲(wèi)此，根底部每

固化必定面積，就使升降臺上升、下降一次，然後使每次別離時的粘著力都不致過大。在根底部加工

過程中，操作者應(yīng)頻繁中斷加工、承認(rèn)加工狀況，防止工件與光窗別離不開的事端發(fā)生。
(3)形狀部加工
較之根底部加工，選用小曝光光斑和小曝光量，以進(jìn)步分辯率。
使工件內(nèi)部的曝光條件均一化，、使得二次固化時的變形僅僅單純的類似變形。
選用改進(jìn)的光柵掃描、脈衝曝光辦法，掃描器可直接移動到固化單元方位。
升降臺下降時工件與光窗間樹脂受揉捏，上升時受壓，簡單造成光窗外表處理層或工件的損傷因而，

上升開端及下降終止時都應(yīng)有一段緩衝，約需幾秒鍾。
(4)超聲波丙酮清洗
(5)紫外光二次固化

   THK高端直線軸承HIR超級軸承LMF10UU LMK13LUU本試驗體系已調(diào)試成功，並進(jìn)行了微試件的成型試加工，試加工意圖爲(wèi)：驗證掃描體系是否可以

按設(shè)定固化單元數(shù)掃描(包含BMP數(shù)據(jù)格式的合用性)；承認(rèn)Z方向的層厚；驗證成型件與光窗的可別離

性；調(diào)查固化狀況，承認(rèn)有無未固化樹脂夾在固化層中；以及成型物形狀的規(guī)整性等。微試件的形狀

爲(wèi)圓柱、橢圓柱、三角柱型和平行六面體，面尺度爲(wèi)2—3mm2左右。

   試加工的結(jié)果表明：試驗體系可正常作業(yè)，X—Y平面掃描及Z向?qū)雍癫倏鼐�契合�?guī)劃要求，樹脂固

化均勻，成型件能很好地與光窗別離，成型物外觀形狀規(guī)整。但這僅僅是開始的試加工，微試件形狀

尚簡單，更雜亂形狀的微零件，以及使用微機械尺度效應(yīng)直接制作微機械的試驗作業(yè)正在進(jìn)行之中。

此外，成型分辯率和掃描分辯率還不夠高，究其原因，是因爲(wèi)在激光器的挑選、光路體系的規(guī)劃，以

及作業(yè)臺的規(guī)劃制作等計劃的制定時遭到了研發(fā)經(jīng)費的束縛。現(xiàn)在，咱們正在開展如下作業(yè)：減小激

光束光斑尺度以取得高的成型分辯率．改進(jìn)作業(yè)臺精度以進(jìn)步掃描分辯率。

3 定論

   THK高端直線軸承HIR超級軸承LMF10UU LMK13LUU本文討論了光成型法用于細(xì)小機械制作的可能性。在對細(xì)小機械的光成型微細(xì)加工工藝、體系構(gòu)

造及調(diào)試以及光成型工藝試驗等研討的根底上，制作了國內(nèi)第一臺細(xì)小機械光成型試驗體系。體系所

用元部件均爲(wèi)國産件，探究了低本錢細(xì)小型光成型體系制作的路子。
本試驗體系現(xiàn)已過“863計劃”專家組驗收。

注：聯(lián)系我時，請說是在“傲立機床網(wǎng)”上看到的，謝謝！