B雙面研磨拋光機
國產品牌:廣州環宇 13.6B 湖南宇晶9B 蘭州瑞德15B
產品用途
本機主要用于8英寸以下硅片、光學玻璃、陶瓷片、石英晶體及其他半導體材料的雙面研磨,也可用于其它硬脆材料的雙面高精度研磨加工。
設備基本參數
3.1、 研磨盤尺寸: φ1355mm×φ458mm×50mm
3.2、 游輪參數:公制:Z=170 M=3 α=20°
3.3、 最小拋光厚度:0.40mm
3.4、 下盤轉速: 0-60rpm
3.5、 主電機: 11kW AC380V 1450rpm
3.6、 齒圈電機: 4kW AC380V 1440 rpm
3.7、 太陽輪電機:1.5kW AC380V 1440rpm
3.8、 抬升電機: 0.75kW AC380V 1390rpm
3.9、 三相電泵: 1/4HP AC380V 70L/min
3.10、外型尺寸: 1950㎜×3000㎜×2800㎜
3.11、重量: 約7000kg
設備的安裝
設備應安裝在地面平坦、安裝厚度應大于300mm,遠離振動源,無灰塵煙霧污染的場所。
a 溫度10℃-25℃
b 相對濕度≦95%
c 電源電壓AC380V ,50Hz
d 壓縮空氣源 0.5-0.6Mpa(必須為干燥的清潔空氣)
整機精度指標
l 下盤平面度小于0.03mm;
l 下盤端面跳動小于0.06mm;
主要特點
2.1變頻器配合異步電機拖動,實現了軟啟動,軟停止,調速穩定,沖擊小。
2.2采用三電機同步拖動,變速范圍更廣,能適應不同研磨材料及研磨工藝的要求;可實現快速修盤功能,提高生產效率。
2.3太陽輪與內齒圈同步抬升,滿足了取放工件及調整游輪嚙合位置的要求。
2.4上下研磨盤采用斜齒輪傳動,并且整機采用全齒輪傳動,運轉平穩。
2.5上研磨盤的升降及研磨壓力的控制分別由上氣缸及加壓缸來完成。采用PLC控制,人機界面顯示整機運轉狀態,壓力采用電-氣比例閥與壓力傳感器閉環反饋控制,壓力轉換過程實現了線性控制。用戶可根據研磨工藝進行設置,壓力控制精度高。
2.6上盤采用最新的“浮動”連接裝置,調心靈活,解決了錯盤問題。
2.7應用人機界面(PT)與PLC 通訊,一方面顯示運行參數,另一方面通過其觸摸鍵調整、設定各項工藝參數,主操作由普通鍵鈕完成。
2.8采用集中潤滑裝置,各相對運動表面、齒輪嚙合部位、鏈輪都可得到充分潤滑,大大提高了整機的使用壽命。
2.9本機整體為龍門式結構,上研磨盤上升到最高位置后由橫梁上兩小氣缸通過安全鉤自動鎖定,鎖定可靠。
注:聯系我時,請說是在“傲立機床網”上看到的,謝謝!