S5U-PH激光干涉儀
S5U-PH激光干涉儀為3D屏及全面屏攝像孔檢測而定制，可以滿足條紋非常密集、超大像差（PV值非常大）狀況下的準確測量。
一、儀器規格參數
S5U-PH激光干涉儀為3D屏及全面屏攝像孔檢測而定制，可以滿足條紋非常密集、超大像差（PV值非常大）狀況下的準確測量。
儀器規格參數表
硬件部分：
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產品型號
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S5U-PH
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產品名稱
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5mm正立式激光干涉儀
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測試口徑
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Φ5mm
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輔助對準口徑
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Φ30mm
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標準鏡面形精度
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λ/20
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光源
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進口半導體激光器（635nm)
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光路切換
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輔助觀察（Φ30mm大視場）與測試（Φ5mm小視場）模式電控切換
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電源
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AC220V50HZ
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軟件部分：
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軟件名稱
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移相算法（簡稱PH）
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分析項目
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透過波前PV值、平行度Tilt值等
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測試重復性
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PV：0.01λ RMS:0.003λ
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測試允許誤差
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PV<1λ時 PV：0.05λ Tilt：0.25fr（零場調整為1根條紋）
1λ<PV<2λ時 PV：0.1λ Tilt：0.5fr（零場調整為1根條紋）
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測試時間
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1.5秒
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注：聯系我時，請說是在“傲立機床網”上看到的，謝謝！
