一.產(chǎn)品簡介

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、最高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動態(tài)性能檢測，如可以測量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動態(tài)參量，可以進(jìn)行機(jī)床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等，具有極高的精度和效率，而且及時處理數(shù)據(jù)，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。

二.SJ6000激光干涉儀顯著特點

1.測量精度高、速度快，穩(wěn)定性好

①使用美國高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)

②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達(dá)nm級

③使用高速光電信號采樣和處理技術(shù)，測量速度可達(dá)到4m/s。

④配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度

⑤分離式干涉鏡設(shè)計，避免了測量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變

2. 應(yīng)用范圍廣

①可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測

②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩(wěn)定度等分析

③  可實時監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動態(tài)特性分析

3.軟件界面友好

①使用當(dāng)前熱門的軟件界面開發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡單。

②將靜態(tài)測量和動態(tài)測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。

③向?qū)�式操作，流程清晰，更符合國�?nèi)用戶的使用習(xí)慣。

4 性價比高

性能達(dá)到了國外儀器的水準(zhǔn)，價格是國內(nèi)儀器的良心價。

三.技術(shù)參數(shù) 

      系統(tǒng)性能

²  測量方式：單頻

²  穩(wěn)頻精度：0.05ppm

²  動態(tài)采集頻率：50 kHz

²  預(yù)熱時間：5-10分鐘

²  工作溫度范圍：0~40℃

²  環(huán)境溫度范圍：0~40℃

²  存儲溫度范圍：-20℃~70℃

      環(huán)境補(bǔ)償示值誤差

²  空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

²  材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

²  空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)

²  大氣壓力傳感器：±1mBar (650-1150mbar)

      線性測量

²  測量距離：0-40m

²  測量精度：0.5ppm (0-40℃)

²  測量分辨率：1nm

²  測量最大速度：4m/sec

      角度測量

²  軸向量程：0-15m

²  測量范圍：±10°

²  測量精度：±0.6%R±0.5±0.1M μm/m（M為光學(xué)鏡移動距離，單位：m）

²  測量分辨率：0.1μm/m

      直線度測量

²  軸向量程：0.1-4.0 m

²  測量范圍：±2.5 mm

²  測量精度：±0.5% R±0.5±0.15M² μm（M為光學(xué)鏡移動距離，單位：m）

²  測量分辨率：0.01μm

      垂直度測量

²  測量范圍：±3/M mm/m

²  測量精度：±0.5% R±2.5±0.8M μm/m（M為光學(xué)鏡移動距離，單位：m）

²  測量分辨率：0.01μm/m

      平面度測量

²  軸向量程：0-15 m

²  測量范圍：±1.5 mm

²  測量精度：±0.6% R±0.02 M² μm/m（M為光學(xué)鏡移動距離，單位：m）

²  測量分辨率：0.1μm

      回轉(zhuǎn)軸分度精度測量

²  角度測量范圍：0-360°

²  精密轉(zhuǎn)臺角度增量：5°

²  精密轉(zhuǎn)臺分度精度：±1秒

²  精密轉(zhuǎn)臺重復(fù)性：0.2秒

注：聯(lián)系我時，請說是在“傲立機(jī)床網(wǎng)”上看到的，謝謝！