一.SJ6000激光干涉儀概述

激光干涉儀是激光的應(yīng)用之一，它以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度，利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量。SJ6000激光干涉儀除了可以用來(lái)測(cè)量長(zhǎng)度以外，如果配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測(cè)量工作，可作為精密工具機(jī)或測(cè)量?jī)x器的校正工作。

二.SJ6000激光干涉儀原理

一個(gè)角錐反射鏡緊緊固定在分光鏡上，形成固定長(zhǎng)度參考光束。另一個(gè)角錐反射鏡相對(duì)于分光鏡移動(dòng)，形成變化長(zhǎng)度測(cè)量光束。

從激光頭射出的激光光束(1)具有單一頻率，標(biāo)稱(chēng)波長(zhǎng)為0.633µm，長(zhǎng)期波長(zhǎng)穩(wěn)定性（真空中）優(yōu)于0.05ppm。當(dāng)此光束到達(dá)偏振分光鏡時(shí)，被分成兩束光—反射光束(2)和透射光束(3)。這兩束光被傳送到各自的角錐反射鏡中，然后反射回分光鏡中，在嵌于激光頭中的探測(cè)器中形成干涉光束。

如果兩光程差不變化，探測(cè)器將在相長(zhǎng)干涉和相消干涉的兩端之間的某個(gè)位置觀察到一個(gè)穩(wěn)定的信號(hào)。如果兩光程差發(fā)生變化，每次光路變化時(shí)探測(cè)器都能觀察到相長(zhǎng)干涉和相消干涉兩端之間的信號(hào)變化。這些變化（條紋）被數(shù)出來(lái)，用于計(jì)算兩光程差的變化。測(cè)量的長(zhǎng)度等于條紋數(shù)乘以激光波長(zhǎng)的一半。

應(yīng)當(dāng)注意到，激光波長(zhǎng)將取決于光束經(jīng)過(guò)的空氣的折射率。由于空氣折射率會(huì)隨著氣溫、壓力和相對(duì)濕度的變化而變化，用于計(jì)算測(cè)量值的波長(zhǎng)值可能需要對(duì)這些環(huán)境參數(shù)的變化進(jìn)行補(bǔ)償。在實(shí)踐中，對(duì)于技術(shù)指標(biāo)中的測(cè)量精度，只有線性位移（定位精度）測(cè)量需要進(jìn)行此類(lèi)補(bǔ)償，在這種情況下兩束光的光程差變化可能非常大。

三.SJ6000激光干涉儀用途

1.SJ6000激光干涉儀是檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)位置精度的理想工具。檢定時(shí)可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理測(cè)量數(shù)據(jù)并打印出誤差曲線，為機(jī)床的修正提供可靠依據(jù)。

2.SJ6000激光干涉儀配有各種附件，可測(cè)量小角度、平面度、直線度、 平行度、垂直度等形位誤差，在現(xiàn)場(chǎng)使用尤為方便。

3.SJ6000激光干涉儀可方便地安裝在測(cè)長(zhǎng)機(jī)上，取代原測(cè)長(zhǎng)機(jī)的坐標(biāo)系統(tǒng)，作為一般計(jì)量室中的長(zhǎng)度基準(zhǔn)。

4.SJ6000激光干涉儀又是一種高精度的位移傳感器，可直接安裝于坐標(biāo)鏜、螺絲磨等精密機(jī)床及坐標(biāo)測(cè)量機(jī)上作為坐標(biāo)系統(tǒng)，使定位精度大為提高。

5.SJ6000激光干涉儀具有對(duì)光柵、磁柵、線紋尺、感應(yīng)同步器等精密測(cè)量元件的檢測(cè)和刻劃功能，儀器可按預(yù)定的間距自動(dòng)完成檢測(cè)和刻劃工作。

6.SJ6000激光干涉儀與圓分度器結(jié)合使用是一套高精度長(zhǎng)度—角度比相計(jì)，可作為機(jī)床傳動(dòng)鏈，絲桿螺旋線等誤差的測(cè)量系統(tǒng)。

注：聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)說(shuō)是在“傲立機(jī)床網(wǎng)”上看到的，謝謝！