中圖儀器激光干涉儀概述：
中圖儀器激光干涉儀產品采用美國進口高穩頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術、高精度環境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術，實現各種參數的高精度測量。通過激光熱穩頻控制技術，實現快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學鏡組可以測量出線性、角度、直線度、平面度和垂直度等幾何量，并且可以進行動態分析。
中圖儀器激光干涉儀功能：
激光干涉測量系統應用非常廣泛：精密長度、角度的測量如線紋尺、光柵、量塊、精密絲杠的檢測；精密儀器中的定位檢測系統如精密機械的控制、校正；大規模集成電路專用設備和檢測儀器中的定位檢測系統；微小尺寸的測量等。
中圖儀器激光干涉儀性能特點：
1.測量精度高、速度快，穩定性好
①使用美國高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻(0.05ppm)
②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級
③使用高速光電信號采樣和處理技術，測量速度可達到4m/s。
④配合有環境補償單元，在環境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度
⑤分離式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發熱而引起的鏡組形變
2. 應用范圍廣
①可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測
②結合我們的軟件系統，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩定度等分析
③可實時監控精密加工機床等機器的動態數據，進行動態特性分析
3.軟件界面友好
①使用當前熱門的軟件界面開發工具，軟件界面人性化，操作簡單。
②將靜態測量和動態測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。
③向導式操作，流程清晰，更符合國內用戶的使用習慣。
4 性價比高
性能達到了國外儀器的水準，價格是國內儀器的良心價。
中圖儀器激光干涉儀技術參數：
系統性能
測量方式：單頻
穩頻精度：0.05ppm
動態采集頻率：50 kHz
環境溫度范圍：0~38℃，環境濕度：0~95%
存儲溫度范圍：-20℃~70℃
環境補償示值誤差
空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
大氣壓力傳感器：±0.1kPa
線性測量
測量距離：0-40m
測量精度：0.5ppm (0-38℃)
測量分辨率：1nm
測量最大速度：4m/s
注：聯系我時，請說是在“傲立機床網”上看到的，謝謝！
