SJ6000激光干涉儀采用美國進口高穩定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術,實現快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光輸出;采用高精度環境補償模塊、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術,結合線性鏡組能實現0.5ppm精度的線性測量;結合相應鏡組還能實現角度、直線度(平行度)、平面度、垂直度、回轉軸等參數的測量,并進行動態分析。
SJ6000激光干涉儀性能特點:
1.測量精度高、速度快,穩定性好
①使用美國高性能氦氖激光器,結合伺服穩頻控制系統,達到高精度穩頻(0.05ppm)
②以光波長(633nm)為測量單位,分辨率可達nm級
③使用高速光電信號采樣和處理技術,測量速度可達到4m/s。
④配合有環境補償單元,在環境變化的情況下,也可以得到較高的測量精度
⑤分離式干涉鏡設計,避免了測量鏡組由于主機發熱而引起的鏡組形變
2. 應用范圍廣
①可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測
②結合我們的軟件系統,可以用于速度,加速度,振動分析以及穩定度等分析
③可實時監控精密加工機床等機器的動態數據,進行動態特性分析
3.軟件界面友好
①使用當前熱門的軟件界面開發工具,軟件界面人性化,操作簡單。
②將靜態測量和動態測量兩種功能合并到一個軟件中,更方便用戶切換測量類型。
③向導式操作,流程清晰,更符合國內用戶的使用習慣。
4 性價比高
性能達到了國外儀器的水準,價格是國內儀器的良心價。
SJ6000激光干涉儀功能:
SJ6000激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、分辨力高等優點。通過與不同的光學組件結合,可以實現對線性、角度、平面度、直線度(平行度)、垂直度、回轉軸等參數的精密測量,并能對設備進行速度、加速度、頻率-振幅、時間-位移等動態性能分析。
在相關軟件的配合下,可自動生成誤差補償方案,為設備誤差修正提供依據。
SJ6000激光干涉儀技術參數:
系統性能
² 測量方式:單頻
² 穩頻精度:0.05ppm
² 動態采集頻率:50 kHz
² 預熱時間:約6分鐘
² 工作溫度范圍:(0~40)℃
² 環境溫度范圍:(0~40)℃,環境濕度:(0~95)%RH
² 存儲溫度范圍:(-20~70)℃
環境補償示值誤差
² 空氣溫度傳感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃
² 材料溫度傳感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃
² 空氣濕度傳感器:±6%RH (0~95) %RH
² 大氣壓力傳感器:±0.1kPa
線性測量
² 測量距離:(0~40)m
² 測量精度:0.5ppm (0~40)℃
² 測量分辨力:1nm
² 測量最大速度:4m/s
角度測量
² 軸向量程:(0~15)m
² 測量范圍:±10°
² 測量精度:±(0.04%R)″ (R為顯示值,單位:″)
² 測量分辨力:0.1″
平面度測量
² 軸向量程:(0~15)m
² 測量范圍:±1.5 mm
² 測量精度:±(0.6%R+0.02 M2) μm (R為顯示值,單位:μm;M為測量距離,單位:m)
² 基板尺寸:180mm可調,360mm可調
測量分辨力:0.1μm
直線度測量
² 軸向量程:(0.1~4.0)m
² 測量范圍:±3mm
² 測量精度:±(0.5+0.1%R +0.1M2) μm (R為顯示值,單位:μm;M為測量距離,單位:m)
² 測量分辨力:0.01μm
垂直度測量
² 軸向量程:(0.1~3.0)m
測量范圍:±3mm
² 測量精度:±(0.5+0.5%R+0.2M)″ (R為顯示值,單位:″;M為測量距離,單位:m)
² 測量分辨力:0.01μm/m
回轉軸精度測量
² 角度測量范圍:(0~360)°
² 測量精度:±1″
最高轉速:10rpm
鋰電池供電,藍牙傳輸數據。
SJ6000激光干涉儀配置清單:
序號 |
名稱 |
明細 |
備注 |
1 |
SJ6000主機 |
1臺,配云臺 |
標配 |
2 |
環境補償單元 |
1套,配1個空氣溫度探頭和3個材料溫度探頭 |
標配 |
3 |
筆記本電腦 |
1臺,配測量軟件 |
標配 |
4 |
便攜式拉桿箱 |
1個,尺寸:560mm×460mm×270mm |
標配 |
5 |
通用三腳架 |
1個 |
標配 |
6 |
線性鏡組 |
線性干涉鏡、線性反射鏡,各1個 |
標配 |
7 |
鏡組安裝配件 |
磁性座2個 |
標配 |
安裝柱4節 |
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輔助安裝塊2塊 |
|||
夾緊塊2個(帶鎖緊螺絲) |
|||
測頭夾具1個(內徑:φ32mm) |
選配 |
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8 |
輕型線性附件 |
小角錐反射鏡、縮光鏡,各1個 |
選配 |
9 |
遠距離線性附件 |
大角錐反射鏡、遠距離分光鏡,各1個 |
選配 |
10 |
可調轉向鏡 |
可調轉向鏡1個 |
選配 |
11 |
角度鏡組 |
角度干涉鏡、角度反射鏡,各1個 |
選配 |
12 |
平面度鏡組 |
平面度鏡組需要與角度鏡組組合使用 |
選配 |
平面度反射鏡2個 |
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180mm可調基板、360mm可調基板,各1個 |
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13 |
直線度鏡組 |
直線度干涉鏡、直線度反射鏡,各1個 |
選配 |
直線度附件1套 |
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14 |
垂直度鏡組 |
垂直度鏡組需要與直線度鏡組組合使用 |
選配 |
光學直角尺、垂直度安裝三腳架,各1個 |
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15 |
高精密轉臺 |
鋰電池供電,藍牙傳輸 |
選配 |
16 |
工作服 |
夏、冬實驗室工作服各1件 |
選配 |
注:聯系我時,請說是在“傲立機床網”上看到的,謝謝!